分析型場發掃描式電子顯微鏡

國立成功大學基礎研究核心設施共同使用服務計畫. 跳到主要內容區 首頁 儀器介紹 分析型場發掃描式電子顯微鏡／Analyticalfieldemissionscanningelectronmicroscope 字體大小調整 小 中 大       本儀器由掃描式電子顯微鏡(FE-SEM)與聚焦式離子束顯微鏡(FIB)及能量分散式光譜分析儀(EDS)所組成。

能提供試件樣品在高/低加速電壓之掃描觀察可獲得超高解析影像之能力，加速電壓15kV解像力1nm、1kV、1.9nm。

裝設聚焦離子束，可進行切削及同步影像觀察。

同時加裝EDS電腦分析系統，以擷取高解析數位影像及成份定性、定量等分析。

影像及分析檔案資料均能系統化存檔，並透過網路安全傳輸至使用者。

一、儀器設備說明 本儀器為蔡司公司AURIGA場發射型掃描式電子顯微鏡，並裝設EDS分析系統及FIB切削功能。

於2011年1月裝機完成，2011年4月開始服務。

儀器規格： 熱場效燈絲(Schottkyemitter)AccelerationVoltage：from0.1KVto30KV.(Continuousmode) 二次電子像(SE)解析度Betterthan1.0nmat15kVinhighvacuumoperatingmode.Betterthan1.9nmat1kVinhighvacuumoperatingmode. 倍率範圍12Xto1,000,000X（SEMode） 五軸電腦馬達控制台X軸移動距離100mm．Y軸移動距離100mmZ軸移動距離50mm‧旋轉連續360°．T軸-10度至60度 EDS偵測範圍B到Am．Resolution:125 二、服務項目 「掃描式電子顯微鏡」(ScanningElectronMicroscope)影像觀察 SEI(ScanningElectronImage)：各式材料之顯微影像及破斷面、金相表面觀察。

BEI(BackscatteredElectronImage)：TOPO(Topography)，凹凸表面觀察。

COMPO(Composition)，元素鑑別及分析。

「能量分散光譜儀」(EnergyDispersiveSpectrometer)可作微區成分之定性、半定量分析、linescan及mapping。

「離子束顯微鏡」（FocusIonBeam）可進行定點縱剖面切削及同步影像觀察（Pt氣體注入器尚在採購中，FIB暫不開放）。

「電荷累積消除器」（ChargeCompensator）適合非導體試片觀察。

三、取樣應注意事項 試件取樣直徑最大不超過50mm(最好在10mm以內為宜)，最大高度20mm，試件請自行前處理。

　 如為非金屬、粉體試件，請先做蒸鍍及固定處理。

試件需不含水分、磁性、揮發性物質。

本儀器拒絕受理含有毒性、腐蝕性、揮發性及低熔點等之試件。

四、收費辦法及標準 以科技部-基礎研究核心設施預約服務管理系統為主，請上線查閱：儀器計費查詢。

五、預約注意事項 首次欲使用本儀器,請於預約前先與技術人員接洽.　　 每月28日下午2:00開放下個月份使用時段(由科技部貴儀資訊管理系統預約)。

已完成預約之使用者,請於使用當日的二~三天前先行查詢儀器狀況. 已完成預約,若欲取消,請於使用日的三天前上網取消,否則使用費需計. 六、本儀器之指導教授與技術員 技術員：　劉彩芸小姐　　(06)2757575轉31373　　email：[email protected] 七、本儀器放置地點 成功大學　自強校區　儀器設備大樓2Ｆ0206室   瀏覽數: 友善列印 分享