士林中空軸伺服馬達於半導體設備應用

一、 需求說明: 此案例為士林中空軸伺服馬達應用於半導體製程設備，使用SDE驅動器搭配中空軸馬達，抽真空管線可穿越馬達軸心連接真空平台，透過真空吸附晶 ... 士林電機自動化事業群 LANGUAGE ENGLISH 首頁 士林技術 SERVO應用案例 INV應用案例 HMI應用案例 代理品應用案例 應用影片 產品資訊 士林服務 品質認證 產品Q&A 服務據點 活動訊息 新產品資訊 活動花絮 教育訓練 會員專區 語系選擇 ENGLISH 首頁 士林技術 SERVO應用案例 士林中空軸伺服馬達於半導體設備應用 SERVO應用案例 友善列印 字級： 小字級 中字級 大字級 分享： 分享到我的Facebook 分享到我的GooglePlus 分享到我的Plurk 分享到我的Twitter 士林中空軸伺服馬達於半導體設備應用 2020-11-26 一、 需求說明:此案例為士林中空軸伺服馬達應用於半導體製程設備，使用SDE驅動器搭配中空軸馬達，抽真空管線可穿越馬達軸心連接真空平台，透過真空吸附晶圓轉動，再配合進行化學藥劑塗布。

二、 設備示意圖及馬達外觀: 三、 特色說明:※士林中空軸伺服馬達出力軸經防鏽處理，不易生鏽，且可適用於強酸環境。

※士林中空軸伺服馬達高速高精度，加減速反應快，馬達溫升低。

四、 結語(建議):※士林中空軸伺服馬達出力軸貫穿(軸心貫穿孔Φ14，最大可客製Φ20)，可走風管(吸真空)或水管，節省空間，不受旋轉限制。

※士林中空軸伺服馬達採用日系Nikon中空編碼器(22BIT/絕對型)，品質穩定性佳。

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