曝光機
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曝光機(英語:Mask Aligner)是製造微機電、光電、二極體大規模積體電路的關鍵裝置。
可以分為兩種,分別是模板與圖樣大小一致的contact aligner,曝光時模板緊貼晶圓 ...
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曝光機
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